MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用，大大降低了硅晶圆的成本。这些气体传感器装置适用于 (CO)和各种挥发性有机化合物，如：如乙、和甲的测量。出于健康和安全考虑，这些传感器的应用主要包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统。MOX气体传感器采用MEMS技术，大大降低了成本。但是这些传感器也必须经过测试，这与典型半导体器件的和测试相比是一组独特的挑战。带宽所指的频率是正弦波信号衰减到－3dB时的频率，而我们一般测量的数字信号都不是正选波，而是接近方波。这两者对带宽的需求是不同的。根据傅里叶变换可知，方波可以为奇次倍数频率的正弦波。比如1MHz的方波，是由1MHz、3MHz、5MHz、7MHz……等正弦波叠加而成。下图为不同滤波器下方波信号的响应。分别为把滤波器设置为方波基频频率、3次谐波频谱、5次谐波频率、7次谐波频率的方波响应。截至频率为方波频率的滤波情况截至频率为方波3次谐波频率的滤波情况截至频率为方波5次谐波频率的滤波情况截至频率为方波7次谐波频率的滤波情况可以看出想要得到较为完整的方波信息， 少需要5次谐波分量，而且如果想要获得更加准确的信息，就需要能够测量到更多的谐波分量。兼具高精度与能量之特色， 系统具备能量再生功能，能够直流能量(DC-DC)，一旦直流能量溢出，系统将其转换回交流电网，是一个低发热、率运用的测试系统。Chroma17011产品具有多电流量程提高电流精度，电流量测精度达到±0.05%ofF.S.，电压精度达到±(0.02%ofRdg.+0.02%ofF.S.)，每个通道独立控制且具备热管理机制保障量测稳定性，快速电流响应可模拟脉冲或各种车况模拟，其采样速度 可达10mS，同时可整合气候温箱进行测试控制，安全性方面设计有多层保护功能，自主检测提前发现异常避免实验风险。

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指针抖动轻微指针抖动：一般由于介质波动引起。可采用增加阻尼的方式来克服。中度指针抖动：一般由于介质流动状态造成。对于气体一般由于介质操作压力不稳造成。可采用稳压或稳流装置来克服或加大气阻尼。剧烈指针抖动：主要由于介质脉动，气压不稳或用户给出的气体操作状态的压力、温度、流量与浮子流量计实际的状态不符，有较大差异造成浮子流量计过量程。指针停到某一位置不动主要原因是浮子流量计的浮子卡死。一般由于浮子流量计使用时启阀门过快，使得浮子飞快向上冲击止动器，造成止动器变形而将浮子卡死。多功能校验仪是以号为输入的温度仪表为基础，兼顾其他功能的多功能校验仪。在多年的检定工作中，专业人士通过实践发现，对多功能校验仪的软件稍加修改即可方便地检测酸度电计、电导率仪电计；若提高准确度并配合Pt-100铂电阻就可以检测气相色谱仪的柱箱温度、程序升温等与温度有关的技术指标。多功能校验仪现有的基本功能1.测量功能测量直流电流、直流电压、交流电流、交流电压、电阻、频率、热电偶、热电阻等功能与万用表大致相同，但准确度较高。

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